行程范围：
X 轴 ------500 mm
Y 轴 ------600 mm
Z 轴 ------400 mm
结构型式：活动桥式
传动方式： （德国）高精密光杠 + 预载荷高精度空气轴承
长度测量系统： RENISHAW （英国）开放式光栅尺，分辨率为 0.5 μ m
机台：高精度花岗岩平台
使用环境：温度 (20±2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m 温度变化 1℃/h
空气压力： 0.4 MPa - 0.5 Mpa
空气流量： 100 L/min – 120 L/min
整机尺寸： 1.2 m X 1.4 m X 2.2 m
机台承重： 500 kg
整机重量： 850 kg